Mira tat-Titanju

Purità
Il-purità hija waħda mill-indikaturi ewlenin tal-prestazzjoni tal-mira, minħabba li l-purità tal-mira għandha influwenza kbira fuq il-prestazzjoni tal-film . Madankollu, f'applikazzjonijiet prattiċi, ir-rekwiżiti ta 'purità għall-mira mhumiex l-istess . per eżempju, bl-iżvilupp rapidu tal-industrija microelectronics, id-daqs tas-siliċonu, 8 " Minn 0 . 5um sa 0 . 25um, 0.18um jew saħansitra 0.13um, u l-purità mira ta '99.995% preċedenti tista' tissodisfa r-rekwiżiti tal-proċess ta '0.35umic.
Kontenut ta 'impurità
L-impuritajiet fis-solidi fil-mira u l-ossiġenu u l-fwar tal-ilma fil-pori huma s-sorsi ewlenin tat-tniġġis ta 'films depożitati . miri għal skopijiet differenti għandhom rekwiżiti differenti għal kontenut ta' impurità differenti . Pereżempju, aluminju pur u miri tal-liga tal-aluminju uża
Densità
Sabiex titnaqqas il-porożità fis-solidu fil-mira u ttejjeb il-prestazzjoni tal-film sputtered, il-mira hija ġeneralment meħtieġa li jkollha densità għolja . Id-densità tal-mira mhux biss taffettwa r-rata ta 'sputtering, iżda taffettwa wkoll il-proprjetajiet elettriċi u ottiċi tal-film . l-ogħla densità tal-materjal tal-mira, aħjar il-prestazzjoni tal-film {. Id-densità u s-saħħa tal-mira jagħmlu l-mira li kapaċi tiflaħ aħjar l-istress termali waqt sputtering . Id-densità hija wkoll waħda mill-indiċi ewlenin tal-prestazzjoni tal-materjal fil-mira .